繁花系列固晶平臺(tái)
1、高度集成,模塊化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)超級(jí)簡(jiǎn)單,鋼軌底座一體研磨成型,剛性強(qiáng),精度穩(wěn)定性高,一致性好。
2、各項(xiàng)機(jī)械精度均由高精密設(shè)備加工保證,有效避免誤差累積及人為組裝能力因素的影響。
3、電機(jī)性能出眾,搭配使用德康威爾品牌驅(qū)動(dòng)器,在3G加速度的情況下,可實(shí)現(xiàn)2ms整定到2個(gè)脈沖,適用于高速度、高加速度、高頻率運(yùn)行工況,承諾在實(shí)現(xiàn)5ms整定到5個(gè)脈沖的條件要求下,500Hz以?xún)?nèi)不存在的共振點(diǎn)。
4、大批量生產(chǎn)時(shí),電機(jī)性能的一致性高,可以實(shí)現(xiàn)一套參數(shù)大批量復(fù)制,無(wú)需對(duì)各個(gè)機(jī)臺(tái)單獨(dú)精調(diào)參數(shù)。
5、四條不銹鋼導(dǎo)軌作為導(dǎo)向,對(duì)晶圓盤(pán)等負(fù)載的偏心或懸臂安裝形成天然的穩(wěn)定優(yōu)勢(shì),極易實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)性能要求。
6、德康威爾擁有本繁花系列平臺(tái)的全部知識(shí)產(chǎn)權(quán),使用安心。
7、價(jià)格低廉,平臺(tái)標(biāo)配著名品牌高性能光柵尺讀數(shù)頭,且包含德康威爾品牌驅(qū)動(dòng)器,批量?jī)r(jià)格僅為4699.00元/臺(tái)起售。
負(fù)載：:1~5kg
有效行程：60~300mm
重復(fù)精度：±2μm
速度：1m/s
加速度：3G
整定時(shí)間：≤5ms
行走平面度：≤60μm
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